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光罩基板,石英基板,光流控芯片玻璃基板

发布时间:2020/7/2

光罩基板,石英基板,光流控芯片玻璃基板

变色龙精密玻璃公司专业提供光罩基板,石英基板,光流控芯片玻璃基板等材质产品。适用于制作光掩模版的基体材料,依据客户需求,可选用各种材质如:合成石英、苏打玻璃、超白玻璃以及客户指定的其它材料,通过精密加工达到具有高平坦、高平行、高光学透射、材料表面和内部没有缺陷等特性,广泛应用于IC(集成电路)、FPD(平板显示器)、PCB(印刷电路板)、MEMS(微机电系统)等领域。

匀胶铬版石英基板是一种硬质表面光掩模材料,即光掩模基板,它是目前和将来由微加工光掩模制成的主流感光材料(相当于照相用光敏薄膜),它通过直流磁控溅射(SP)技术在平板高光洁度玻璃基板上沉积铬膜基板,然后涂覆一层光刻胶(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成均匀的铬板。(均匀铬板是掩模板的基片)。

特点:均匀铬板具有灵敏度高、分辨率高、缺陷密度低、耐磨性好、易清洗、使用寿命长等特点。

光罩基板

二、光罩铬版产品广泛应用于半导体集成电路芯片制造、集成电路高密度引线架、半导体元件、面板显示器件、光学工业掩模板、高密度印制电路板(PCB)等行业。

光罩铬版是微电子制造中用于光刻的图形母版。
掩模板又称光掩模,是光刻过程中最重要的消耗品之一,是光刻过程中最重要的消耗品之一,它是光刻过程中最重要的消耗品之一,它在透明基板上形成掩模图形,通过曝光将图形转移到产品基板上。掩模板作为模子,通过光刻技术将掩模板上的电路图案复制到芯片或液晶面板玻璃上,从而大量生产集成电路或液晶面板等产品。
光掩模模板可以按照成分和产品进行分类。光掩模版主要由基板和遮光膜组成,其中基板又可分为透明树脂基板和透明玻璃基板。透明树脂基板容易成规模,但容易变形。与玻璃基板相比,它的应用更为普遍。 按玻璃材质可分为合成石英,硼硅酸盐玻璃和苏打玻璃三种。 遮光膜材料主要是乳胶遮光膜和硬质遮光膜。 硬遮光膜可进一步细分为铬,硅,钼酸盐硅化物和氧化铁四大类。其中铬材料具有涂层均匀性好,刻蚀精度高,无毒无污染等优点,应用最为广泛。 根据用途,光掩模版可分为铬版,活版,干版和液体活版四大类。 其中,铬板主要由铬遮光膜和石英基板组成。


光罩模板产业链
光掩膜石英基板的原材料主要是衬底(合成石英、硼硅酸盐玻璃和苏打玻璃等)。下游应用包括平板显示、集成电路、触摸屏、电路板等。将光掩模行业的产业链划分为上游平面设计、光掩模设备和材料工业、中流光掩模板制造和下游微电子应用。光掩模制造商分为两种类型,一种是向其他公司的独立商业制造商销售光电掩模板,如青益光电公司;另一种是自营制造商,如台积电。目前,光掩模板主要是世界范围内的专业生产厂家,而光掩模板制造商主要采用购买光掩模板基板的方式,少数厂家具有上游基材生产能力。
上游原材料使用的基板主要为合成石英。被用来制作光掩膜版的玻璃包括合成石英、硼硅玻璃和苏打玻璃,其中合成石英最为化学稳定,具有高硬度、低膨胀系数和透光性强 等优势,适用于较高精度要求的产品生产,广泛应用于 LSI 用光掩膜、FPD 用大型掩膜的 制造。但是石英成本高,现在倾向于发展高质量的合成石英材料,它能够提供宽的光投射 区域、低的杂质含量和少的物理缺陷,并且随着低膨胀率和深 UV 的要求变得逐渐广泛。

光掩膜石英基板是透明的玻璃基板,在其上形成金属图案以阻挡光的透射。

变色龙精密玻璃公司产品的优势:生产周期短、品质保证、价格优廉、交货准时、能为广大客户提供优良专业的服务。各常规品种均备有现货,可提供样品试用;同时可根据客户的图纸要求定制生产,欢迎广大客户来电商谈。

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