康宁光学玻璃：Corning Eagle XG®玻璃基板介绍

EAGLE XG是一款利用溢流下拉法成型的高品质无碱玻璃基板

E-XG是美国康宁公司生产的一种无碱硼硅酸盐玻璃，代号MIE301，专为高性能 LCD 设计。这是一种环保材料，几乎不含重金属(砷、锑、钡或卤化物)。采用了康宁先进的溢流下拉法工艺，生产的玻璃具有高表面质量，非常低的TTV，厚度公差也很好，材料的热性能比起肖特BF33还出色。在半导体领域，可以替代肖特玻璃的AF32，它可以挑选出非常低TTV的原料，这一点别的厂家难以比拟。它的前一代产品为Corning Eagle 2000TM，，代号MIE201，也称之为1737，该款产品于2005年发布。

1、特征

环保(无重金属)

卓越的表面质量

出色的热性能

低密度

卓越的化学耐久性

2、应用领域

液晶显示器 (LCD)：Eagle-XG玻璃在LCD制造中具有广泛的应用，得益于其高质量和环保特性。

轻质光学窗口、镀膜片：因其卓越的表面质量和光学性能，Eagle-XG玻璃适用于光学窗口和镀膜应用。

晶圆：在半导体制造中，Eagle-XG可以替代其他材料，尤其是在要求低TTV的情况下。

舞台灯隔热片：Eagle-XG在高温隔热片方面表现出色，适用于舞台灯等高温环境下的应用。

3、电气特性

Log10 体积电阻率(250°C，482°F)：12.9 ohm-cm

Log10 体积电阻率(500°C，932°F)：8.8 ohm-cm

电容率(20°C，1kHz)：5.27

损耗因数(20°C，1kHz)：0.3%

4、机械性能

密度(20°C，68°F)：2.38克/厘米3(148.5 磅/英尺3)

杨氏模量：73.6GPa(10.7Mpsi)

泊松比：0.23

剪切模量：30.1GPa(4.4 Mpsi)

维氏硬度(200克负载，停留25秒)：640

5、粘度

工作点 (10^4泊)：1293℃(2359°F)

软化点 (10^7.6泊)：971℃(1780°F)

退火点(10^13泊)：722℃(1332°F)

应变点 (10^14.5泊)：669℃(1236°F)

6、热膨胀系数

0 – 300 °C (32 – 572 °F)：31.7×10^-7 /℃(17.7 x 10^-7 /°F)

25 – 675 °C (77 – 1247 °F)：35.5×10^-7 /℃(19.7 x 10^-7 /°F)

7、光学特性

折射率 @435.8nm ：1.5198

折射率 @467.8nm： 1.5169

折射率 @480.0nm ：1.5160

折射率 @508.6nm： 1.5141

折射率 @546.1nm ：1.5119

折射率 @589.3nm ：1.5099

折射率 @643.8nm： 1.5078

双折射常数：(331 nm/cm)/(kg/mm2)

中国广东地区的变色龙科技公司专注于精密玻璃的制造和销售，已有十多年的康宁玻璃使用经验，非常熟悉进口玻璃。最初，他们将Eagle-XG这一材料提供给了滤光片客户，成功地在某些厚度上替代了肖特D263T。随后，他们将这一材料应用于舞台灯的高温隔热片，并获得了令人满意的结果。该材料还在光通信领域的一些器件和晶圆上得到了验证。总之，Eagle-XG是一种质量出众的光学玻璃，几乎没有气泡，其刻蚀性能也非常出色，因此在精细刻蚀应用方面可以替代肖特玻璃。通过深入了解材料特性以及产品的应用场景，不断地尝试，就有机会突破。

目前康宁新一代的LCD玻璃叫做LotusTM XT，其TTV表现更加出色，表面波纹更小，抗高温性能也得到了提升。与E-XG相比，它的密度稍高一些，为2.57克/厘米3(在20°C或68°F条件下)。机械性能方面，它的杨氏模量为80.7GPa，剪切模量为32.9GPa。虽然维氏硬度略微下降，但仍然表现出色。各个粘度点的温度有所提高，工作点(10^4 poise)为1379℃，软化点(10^7.6 poise)为1046℃，退火点(10^13 poise)为799℃，应变点(10^14.5 poise)为743℃。在电气属性方面，其Log10 体积电阻率(250°C)为13.9 ohm-cm，Log10 体积电阻率(500°C)为9.3 ohm-cm;电容率(20°C，1kHz)为5.97，损耗因数(20°C，1kHz)为0.15%。

近年来，国内也取得了LCD玻璃生产领域的一些重要突破，不过在气泡、TTV和BOW等方面，仍存在明显差距。目前，主要的制造商有两家，彩虹集团和东旭集团，2家技术同源，因此差异并不大。此外，它们几乎不再生产0.7和1.1的厚度，最薄的产品厚度为0.3，但市场上已经很少见了。

无碱玻璃几乎不含碱金属，因此无法与硅片进行键合，这限制了它在一些高端应用中的使用。此外，除了1.1厚度外，几乎没有更厚的产品。这是Eagle-XG玻璃的一些局限性。