玻璃膜基界面强度

目前对膜基界面结合强度的评价方法很多，但也没有统一的标准，常见的方法有：划痕法、 拉拔法及十字交叉法。
划痕法是用一根光滑圆锥状顶端的划针，在硬质薄膜表面以一定的压力划过，同时逐渐增大 压头的垂直压力。硬质薄膜开裂的很小压力称为临界载荷，用来表征薄膜的结合强度。划痕法的 临界载荷的确定可以根据硬质薄膜开裂的声发射信号，也可以根据薄膜开裂压头划过衬底时摩擦 力的突然改变来确定。图26-33是划痕法测试原理图及声发射信号与摩擦力-法向载荷曲线，可 以根据曲线的突然变化，来确定临界载荷Lt。可以利用显微镜观察膜层开裂的情况来进一步验 证声发射信号和摩擦力测量的准确性。另外，当载荷一定时，薄膜剥离痕迹的完整程度也依赖于 薄膜的结合强度，因而可根据划痕边缘的完整程度来比较膜层的结合强度。