玻璃晶圆加工定制,玻璃晶片批发-变色龙精密玻璃有限公司
玻璃晶圆加工定制,玻璃晶片批发
变色龙精密玻璃公司专业加工定制Borofloat33玻璃晶圆,光学晶片,d263t晶圆,bk7玻璃晶圆,公司采用独特的熔炼技术和先进的加工工艺,可以在 0.03 mm 到 3 mm 的各种厚度范围内制造产品,并可根据要求定制厚度。 在所有情况下,严格的几何公差意味着性能始终高效可靠,即使在具有挑战性的应用环境中也是如此。在成像、传感、半导体、医疗和生物技术行业应用的玻璃基板和晶圆方面积累了丰富的经验。 专家还能够为客户提供有价值的帮助,帮助开发符合自身需求的解决方案。
可靠的芯片级微电子机械系统封装
从宏观到微观,肖特 TGV 晶圆均提供用于微电子机械系统设备的电子封装,包括在大型工业和汽车传感器以及医疗设备中的小型化应用,其中,封装的医用电子产品可长期承受体液和灭菌循环的影响。
玻璃晶圆基材具有密封的固态贯通玻璃通孔(TGV),可实现晶圆级芯片尺寸(WLCSP)的细微型、全密封传感器和微电子机械系统(MEMS)设备。 细间距的通孔使电信号和电源从 MEMS 设备传进传出。
1.玻璃晶圆的规格
各种类型的玻璃和主要供应商–康宁,肖特,霍亚,AGC
- 晶圆尺寸最大为200毫米x 200毫米(8英寸)
- 晶圆厚度从30 μm到10 mm
- 圆形,方形和其他形状的孔
- 直孔横截面| 无锥度
- 低碎屑<10μm,典型值 没有任何
- 光滑的侧壁,Ra <1μm
- 典型最小值 孔尺寸20 μm(圆形)
- 位置精度±3μm
- 前后表面无碎屑
- 孔周围不下垂
- 宽高比高达1:100
- 高通量和良率
- 能够使用金属化玻璃类型(例如Au,Pt,Ni,Cr,Mo)

2.玻璃晶圆工艺
晶圆切割:准备好空白晶圆,通过喷射厚水片和线锯块
磨边:晶圆边缘是圆柱形的,在磨边站上接地。
晶圆研磨:将晶圆研磨至指定的厚度。
晶圆抛光:抛光晶圆会赋予其制造所需的镜面,超平坦表面。
晶圆清洗:这是在不改变或损坏多条清洗线上的晶圆表面或基板的情况下,去除化学物质和颗粒杂质的方法。
晶圆检查:在100级洁净室中的适当照明条件下,检查各种质量等级。
晶圆包装:所有晶圆都包装在单个晶圆容器中。
玻璃晶圆的透射率
3.玻璃晶圆的透射率
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