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贺利氏TSC®-3玻璃是什么?

发布时间:2022/12/19

贺利氏TSC®-3玻璃是什么?

贺利氏TSC®-3玻璃材质类型:石英玻璃

贺利氏TSC®-3玻璃是用于半导体制造设备的高纯度和很低气泡含量的标准石英玻璃。它特别适用于蚀刻系统。非常低的气泡和夹杂物含量,很高化学纯度,可提供很大尺寸的几何形状。

天然石英玻璃与合成石英玻璃最大的区别来自于原材料。天然石英玻璃是由天然石英砂作为原料制得的,相应的石英砂来自于石英矿/水晶矿。合成石英玻璃是用气体化学品作为原料制得的。所用的气体化学品通常会含有硅原子,硅原子与氧气反应生成高纯的二氧化硅,即为合成石英玻璃。这种工艺由于采用了高纯的化学品原料,制得的合成石英玻璃材料的纯度相比天然石英玻璃材料有量级的区别,高出很多。

TSC®-3玻璃

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