为什么石英玻璃能成为半导体行业的理想材料?

为什么石英玻璃能成为半导体行业的理想材料?

石英玻璃

具有UV质量的光学级熔融石英，石英玻璃具有优异的紫外线透过率和光学质量，高纯玻璃成分。同时石英玻璃还很耐热与低热膨胀系数。

石英玻璃可用于半导体技术的玻璃晶圆

半导体石英玻璃有非常高的抗热震性及杰出的化学强度，低荧光、高电绝缘性能。

石英玻璃在半导体行业

几十年来一直没有中断的半导体需求仍在快速增长。在数字制造自动化领域令人瞩目的发展和对集成电路的高需求等因素的推动下，晶圆制造商被迫生产更大的晶圆。这种发展的进步同时需要生产更大的批量系统和工艺管。

变色龙精密玻璃还为半导体行业提供各种制成品。高纯度石英玻璃与激光CNC机器一起，已被证明是为半导体行业提供石英玻璃耗材的有利组合。

半导体工艺管

在半导体工业中，退火和扩散工艺是晶圆生产的必要制造步骤。这些过程在卧式或立式炉中进行。将硅晶片放入工艺管中并以受控方式加热。该工艺管必须与晶圆炉中的反应室精确匹配。如今，主要生产 8" 和 12" 晶圆。

作为石英玻璃制造商，我们根据客户需求和两步法生产高纯度石英玻璃管，从而为每个晶圆生产商提供完美的解决方案。

半导体石英舟

为了在扩散炉或氧化炉中运输晶片，使用所谓的硅舟。这些石英舟对制造材料的纯度和耐温性提出了特别高的要求。这些晶圆舟的制造除其他外需要单独的组件，例如由石英玻璃制成的棒和板。

通过与客户的密切合作，我们还开发了复杂的产品和个性化的解决方案。

半导体石英玻璃载体

在晶圆的生产和提炼中，它们的纯度是重中之重。这也适用于晶圆生产过程中与半导体材料接触的材料，例如晶圆载体。石英玻璃堆叠系统例如用于洁净室以储存和运输晶圆。