石英玻璃深加工、冷加工、热加工

石英玻璃深加工工艺

石英玻璃的深加工有六种工艺：冷加工工艺、热加工工艺、退火工艺、脱羟工艺、高纯 涂层工艺、耐高温涂层工艺。石英深加工装备复杂，精度很高，技术难度也很大。

石英玻璃冷加工工艺技术及装备

石英玻璃的冷加工是使用石英管、石英棒、石英坨为原材料进行切片、开槽、打孔、研 磨、抛光等机械加工成产品，在石英仪器器皿生产时与热加工进行配合：有切管、石英棒开 槽、磨平、锥形磨口、球形磨口、标准磨口等，设备大部分用金属机加工设备进行改造，适 合本行业需用，例如：石英开槽机用铣床改造，槽宽、槽深、槽间距、口倒角等都由计算机 自动控制，精度要求很高，改造后的设备便是石英行业专用开槽机。

切割有金刚砂轮切割机、高精度曲线切割机、激光切割机、高压水力切割机、大型管材 切割机、大型带式切割机、线切割机、钼片内圆切割机等，应有尽有。平面研磨有往复式平 面磨床，专门加工石英砖，圆盘式平面磨床加工板材和片。

打孔有超声波打孔机、钻床、套管式金刚石钻头、激光打孔等设备。磨口有锥形磨口机、球形磨口机、标准磨口机等。

石英玻璃冷加工有很多特殊的先进设备例如：石英锭打孔，孔深1.5〜2m，孔直径 多Ф60〜80mm，采用卧式打孔专用机床，打一个长孔仅用2h，是非常先进的设备，开槽机的 精度和自动化程度都非常高。激光切割、激光打孔、高压水力切割、线切割等都是很先进的设备。

石英玻璃是脆性材料，冷加工时容易崩边、炸裂、破碎，所以加工难度比金属材料大得多。

石英玻璃热加工工艺技术及装备

半导体技术、电光源、化学工业和化验室都要使用很多石英玻璃仪器、器皿和泡壳， 例：扩散管、石英舟，钟罩、清洗槽、石英分馏塔、坩埚、烧杯、烧瓶、量瓶、滴定管、各 种灯用石英泡壳等上百种产品，石英行业统称石英仪器器皿，小的只有几毫米，大的高3m， 这些产品都要经过热加工而成，行业内称玻璃灯工，要求工人手艺很高，全靠将石英管、棒 用氢氧焰加热到软化状态，经过吹、拉、接、焊等手工操作制造成产品。半导体工业用产品 要求高纯度，工作环境要求空气净化，净化程度比医疗卫生企业还高，要求达到1000〜 5000级，包装间高达100级。

石英玻璃热加工设备有玻璃车床、封口机、烧边机、泡壳机、灯工台、石墨台、各种灯 具、各种模具、量具等。

石英仪器器皿的检验设备要求精度很高，大部分是采用机械工业的量具及检测设备，也 有一些专用工具。

石英玻璃仪器器皿的清洗包装也有一套专门技术。