玻璃钻孔 电子束钻孔机的原理及特点

电子束钻孔机的原理及特点

电子束钻孔的原理是在真空条件下，利用聚焦后能量密度高达10⁶〜10⁹W/cm²的电子束, 以很高的速度冲击到玻璃表面很小面积上，在很短的时间（约10^-7S)内，电子束能量大部分转 变为热能，使玻璃被冲击部分达到儿千摄氏度以上高温，引起玻璃的局部熔化和气化，达到钻孔 目的。

电子束的特点：

(1) 可加工微细孔和窄缝电子束能极其微细地聚焦，如电流为1〜10mA时，能聚焦到 10〜100μm,电流为1nA时，能聚焦到0. 1μm，故可以在很小面积上加工微细孔，是一种微细加工方法。

(2) 为非接触加工，玻璃不受机械力作用，不易产生宏观应力和变形由于电子束钻孔，依 赖于高密度束流辐照，使辐照部分的温度超过玻璃的熔化温度而熔化和气化，去除钻孔空隙内玻 璃主要依靠瞬时蒸发，不必通过机械力作用。

(3) 有利于实现自动化控制通过磁场或电场对电子束的强度、位置、聚焦等进行直接控 制，对异形孔可以通过电气控制加工，因此便于实现钻孔过程的自动化。

(4) 加工过程污染少电子束钻孔在真空中进行，加工过程不会有污染物和有害气体排出， 且适合于易氧化的硫族玻璃、卤素玻璃的加工。

(5) 电子束钻孔需要复杂的设备和真空系统，投资较大，影响推广应用。