玻璃镀膜工艺法 常规化学气相沉积法

这种沉积方法就是将反应气体直接通入沉积反应室中混合，在一定的温度下经过化学反应 后，薄膜材料的蒸气相在玻璃表面上形成固相薄膜。要求此反应在接近或就在玻璃表面上发生， 使生成的固相直接凝结在玻璃表面。不希望反应过程在气相下发生，否则会形成粉末状沉积物。

利用化学气相沉积制备薄膜主要涉及以下几个过程，即反应气体输运、气相化学反应、初始 产物扩散、初始产物吸附与扩散、与基体异相反应、反应副产品解离脱附等过程。因此，化学气 相沉积装置主要由初始气源及其供给系统、沉积反应加热室、真空系统、废气排放系统和电源控 制系统等组成。