金属透明导电薄膜玻璃

金属膜是一种常见的透明导电膜，通常有All、Ag、Pt、Pd、AK Cu等。金属膜的导电性 能好，但是透光率较低。金属膜只有当其厚度减薄到一定程度（一般小于20nm)才能获得比较 高的可见光透过率，但是同时牺牲了其导电性能。而且在沉积或使用过程中由于原子团的迁移等 原因，金属薄膜容易形成岛状结构，而呈现高的电阻率，光学透过性也会降低。其中，金膜耐擦 伤性能差，银膜化学稳定性差，必须涂覆保护层。另外，由于金属膜与衬底材料附着力差，必须 引入过渡层。

为了解决金属导电性好，但是透光率较低的问题，出现了多层膜结构的透明导电膜。选用厚 度小于20nm的高导电性能的Ag金属（M)作为导电层，然后在Ag膜的两侧均沉积一层一定厚 度（纳米数量级）的高折射率和电阻率的介质膜（D)。从薄膜干涉理论得知，当膜的厚度是入 射光在该介质中波长的1/4时，在薄膜两个面上反射光的光程恰好等于半个波长，从而相互干涉 而抵消，这就大大减少了光的反射损失，增强了透射光的强度，起到了增透作用。选择合适的介 质折射率和厚度，可以起到很好的增透作用。因此，利用金属膜的高导电性和介质膜的增透作 用，电介质/金属/电介质（D/M/D)纳米多层膜中的每层各自发挥其优势，从而使他具有比 ITO更优良的综合光电性能。