玻璃加工 超快脉冲玻璃微加工

要了解为什么超快脉冲很适用于玻璃微加工，需求从资料加工的时间尺度这个角度来对待。大家都理解激光器在加工过程中对资料形成的损伤，但飞秒脉冲激光器和持续时间超越皮秒的脉冲激光器所产生的损伤存在严重差别。在大多数资料中，声子是热效应很主要的缘由，它至少需求1皮秒的激光曝光来激起。而关于飞秒激光器脉冲来说，曝光时间要低于这一限定。因而，由于飞秒脉冲不到1皮秒就会中止，离子不会被电子热激起。焦点区外的导热被降到很小，从而增加加工的精度。此外，飞秒激光资料加工具有高精确性，由于形成吸收效应的种子电子是经过非线性电离化产生，并不需求缺陷电子。由于非线性激起的反复性和限制，飞秒激光微加工能够用于实践用处，而其他办法则行不通。

由于这一加工所需脉冲能量相对较高，所以直到很近，运用超短脉冲加工玻璃虽为人熟知却并未得到普遍应用。

能提供这一级别脉冲能量的激光器只要固体激光器，其操作相对复杂，且价钱昂贵。在过去的几年光纤激光器技术不时进步，已可以提供短脉冲和高质量光束，成为固体激光器的重要替代产品。

此外，光纤激光器更为划算、紧凑、牢靠，而且由于其不需求校准，因而也更易于操作。微焦耳范围内的超快光纤激光器设计人性化，价钱廉价，其开展正将这一技术从利基应用转变为一种被普遍采用的工业加工工具（图4）。应用范围包括产品认证，玻璃切割，以及次外表光波导等。