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晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制造所用的硅芯片,因为其形状为圆形,故称为晶圆。晶圆是出产集成电路所用的载体,通常含义晶圆多指单晶硅圆片。
晶圆是很常用的半导体玻璃材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等标准,近期发展出12英寸乃至研发更大标准(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶圆越大,同一圆片上可出产的IC就越多,可降低成本;但对资料技能和出产技能的请求更高。通常以为硅晶圆的直径越大,代表着这座晶圆厂有非常好的技能.在出产晶圆的进程傍边,良品率是很重要的条件。
二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%。晶圆制造厂再将此多晶硅熔解,再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种,然后将其渐渐拉出,以构成圆柱状的单晶硅晶棒,因为硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原猜中逐渐生成,此进程称为“长晶”。 硅晶棒再经过研磨,抛光,切片后,即变成集成电路工厂的基本质料——硅晶圆片,这即是“晶圆”。
简单的说,单晶硅圆片由一般硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列办法制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片以后,就变成了晶圆。
晶圆经屡次光罩处理,其间每一次的过程包括感光剂途布、曝光、显影、腐蚀、浸透或蒸著等等,制成具有多层线路与元件的IC晶圆,再交由后段的测验、切开、封装厂,以制成实体的集成电路制品。