低羟基石英玻璃的制备

低羟基石英玻璃

石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成，是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于石英玻璃加工的种类、工艺和原料的不同，常被称为抗辐照石英玻璃、石英玻璃、低羟基石英玻璃、无荧光石英玻璃、低介电常数、介电损耗石英玻璃、核废料固化玻璃。

低羟基石英玻璃中的结构状态及对石英玻璃质量、性能的影响石英玻璃是SiO2单-组分的工业技术玻璃，其分子结构为硅氧四面体，羟基OH-离子，在石英玻璃中是非金属杂质，降低石英玻璃的性能和质量，在半导体工业应用时降低耐温性和抗折晶性，降低使用寿命，在电光源工业应用时严重影响灯的质量和使用寿命，灯使用时扩散出来H2O和H2，破坏卤钨循环，使灯卤化物变质，电很氧化中毒，严重时造成熄弧，点不起来，停止起动。

高频等离子沉积制备石英玻璃的工艺是以等离子体为热源，石英粉经过下料管(石英玻璃)进人等。离子火焰，在空中被等离子火焰加热熔化，然后在等离子燃烧器内工作气体的带动下沉积在基础管(石英管)的外表面上，随着石英粉不断熔化沉积，基础管外径逐渐增大，很终成为圆柱形石英玻璃材料。

制备低羟基石英玻璃，原料的选择非常重要，需要选用气液包裹体少的优质石英粉料。优质石英粉料不但要求含水量低，同时要求金属杂质含量低，铁的含量<1ppm，否则不利于石英玻璃羟基控制。

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