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石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成,是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于石英玻璃加工的种类、工艺和原料的不同,常被称为抗辐照石英玻璃、石英玻璃、低羟基石英玻璃、无荧光石英玻璃、低介电常数、介电损耗石英玻璃、核废料固化玻璃。
低羟基石英玻璃中的结构状态及对石英玻璃质量、性能的影响石英玻璃是SiO2单-组分的工业技术玻璃,其分子结构为硅氧四面体,羟基OH-离子,在石英玻璃中是非金属杂质,降低石英玻璃的性能和质量,在半导体工业应用时降低耐温性和抗折晶性,降低使用寿命,在电光源工业应用时严重影响灯的质量和使用寿命,灯使用时扩散出来H2O和H2,破坏卤钨循环,使灯卤化物变质,电很氧化中毒,严重时造成熄弧,点不起来,停止起动。
高频等离子沉积制备石英玻璃的工艺是以等离子体为热源,石英粉经过下料管(石英玻璃)进人等。离子火焰,在空中被等离子火焰加热熔化,然后在等离子燃烧器内工作气体的带动下沉积在基础管(石英管)的外表面上,随着石英粉不断熔化沉积,基础管外径逐渐增大,很终成为圆柱形石英玻璃材料。
制备低羟基石英玻璃,原料的选择非常重要,需要选用气液包裹体少的优质石英粉料。优质石英粉料不但要求含水量低,同时要求金属杂质含量低,铁的含量<1ppm,否则不利于石英玻璃羟基控制。
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