半导体石英玻璃
发布时间:2020/4/27
半导体石英玻璃
一、什么是半导体石英玻璃?
半导体石英玻璃是一种由二氧化硅四面体结构单元组成的非晶态材料,其微观结构是由二氧化硅四面体结构单元组成的一种简单的网络。由于硅-氧化学键能很大,结构非常接近,石英玻璃具有非常独特的性能。
石英玻璃的形成是由于其熔体在高温下的高粘度所致。用于制造半导体、电光源、半导体通讯器件、激光器、光学仪器、实验室仪器、电气设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建筑材料和国防等。广泛应用于化工、电子、冶金、建材、国防等行业。石英玻璃高纯石英玻璃可制成光纤。随着半导体技术的发展,石英玻璃被广泛应用于半导体生产的各种工艺中。例如,Czochralski法将多晶转化为单晶硅;清洗槽用于清洗;扩散管、用于扩散的槽船;离子注入的钟盖等。

二、半导体石英玻璃是如何形成的?
半导体石英玻璃的形成是由于其熔体在高温下的高粘度所致。用于制造半导体、电光源、半导体通讯器件、激光器、光学仪器、实验室仪器、电气设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建筑材料和国防等。广泛应用于化工、电子、冶金、建材、国防等行业。
三、半导体石英玻璃的特性:
半导体石英玻璃具有非常特殊的光学特性。石英玻璃可以穿过许多不同波长的光谱,从可见光光谱到红外光谱,其中透过紫外光谱比较好。石英玻璃的光谱折射率也因波长不同而不同。
1.渗透性丧失
2.透气性
在室温下,石英玻璃可以说是无法呼吸的,在高温下(例如700℃),一些气体的渗透常数也很小。
3.电气性能
半导体石英玻璃是一种优良的高温介质绝缘材料。
4.光学特性。
半导体石英玻璃的光学特性是独特的。它不仅可以穿过远紫外光谱,是所有紫外渗透材料中比较好的,而且还可以通过可见和近红外光谱。
5.热性能
半导体石英玻璃的热膨胀系数较小。