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「精密石英载具」透紫外玻璃真空吸附座

发布时间:2022/6/6

精密石英载具 

透紫外玻璃

上游原材料使用的基板主要为合成石英。被用来制作光掩膜版的玻璃包括合成石英、硼硅玻璃和苏打玻璃,其中合成石英化学稳定,具有高硬度、低膨胀系数和透光性强 等优势,适用于较高精度要求的产品生产,广泛应用于 LSI 用光掩膜、FPD 用大型掩膜的制造。但是石英成本高,现在倾向于发展高质量的合成石英材料,它能够提供宽的光投射区域、低的杂质含量和少的物理缺陷,并且随着低膨胀率和深 UV 的要求变得逐渐广泛。

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