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「石英玻璃晶圆」静电键合晶圆加工定制

发布时间:2022/6/7

一、键合晶圆是什么?

键合晶圆是指通过化学和物理作用将两块已镜面抛光的同质或异质的晶片紧密地结合起来,晶片接合后,界面的原子受到外力的作用而产生反应形成共价键结合成一体,并使接合界面达到特定的键合强度。玻璃料键合技术也称为密封玻璃键合,可实现工艺温度低于450℃下的晶圆键合,主要优点有气密性好、工艺良率高、键合界面机械应力低、可贯穿金属线、键合强度高、可靠性好。

石英玻璃晶圆

二、如何进行阳极键合晶圆、静电键合晶圆定制?

阳极键合晶圆也称为场辅助密封、静电键合。

含碱玻璃极化 将键合的两晶圆放置在一个加热板(300-450℃)上,在两端加上约400-1000V的DC电压。

实现紧密接触初始状态由于表面粗糙型晶圆和玻璃会有间隙,后由于电压降产生间电力将接触区域全部拉紧

三、键合晶圆怎么加工定制?

可使用紫外光(UV)固化材料。UV固化材料对热和化学试剂相对稳定,为便于后续解键合,通常在载片表面旋涂UV固化材料前先要涂覆一层对UV不敏感的释放层。用于临时键合的UV固化材料是种含特殊配方的液体,在UV的照射下,液体中的聚合物会发生交联”。将器件晶圆与载片接触后,UV会透过载片照射到临时键合胶上,从而使其固化。因此,载片需要具备一定的透光度,并且可以被一定波长的UV穿透。在UV的照射下,液体中的聚合物发生交联,临时键合胶连渐固化,最终将载片和器件品圆稳定地结合在一起。

阳极键合晶圆

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